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gan快速退火炉,gan快速退火炉参数,瑞乐gan快速退火炉参数

作者:admin 浏览量:69 来源:本站 时间:2022-09-10 19:27:24

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技术规格
2.1参数

RTP-RL300
最大产品尺寸4-12英寸晶圆或者最大支持300×300mm产品
温度范围室温~1250℃
最高升温速度150℃/s
温度均匀度±1%
温控方式快速PID温控
降温速度200℃/min(1000~400℃)
腔体设计可配置大气常压腔体或者真空腔体
腔体冷却方式水冷腔体,独立水冷源控制冷却
衬底冷却方式氮气吹扫
工艺气体MFC控制,常规两路气体,最大可扩充至6路气体


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