我们专注于红外退火炉,红外退火炉设备,红外快速退火炉,红外快速退火炉设备,高温快速退火炉,高温快速退火炉厂家,太阳能多晶硅基片,太阳能多晶硅基片厂家
专业的红外退火炉,红外快速退火炉厂家专注于高温快速退火炉、高温快速退火炉设备研发生产
全国咨询热线:0757-82560052
联系我们

【 微信扫码咨询 】

0757-82560052

13702970020

您的位置: 首页>新闻中心>行业新闻

快速退火炉的操作规范,快速退火炉的操作手册

作者:admin 浏览量:316 来源:本站 时间:2021-12-26 21:18:34

信息摘要:

快速退火炉的操作规范,快速退火炉的操作手册,瑞乐百德rtp快速退火炉厂家小编为你整理分享快速退火炉的操作使用中注意事项。

快速退火炉使用,快速退火炉操作,快速退火炉操作规范。快速退火炉的操作规范,快速退火炉的操作手册,瑞乐百德rtp快速退火炉厂家小编为你整理分享快速退火炉的操作使用中注意事项。

rtp快速退火炉

快速退火炉操作规范

开机

1、打开冷水机

2、利用工具将炉体挡门螺丝旋下,缓慢平稳地将石英舟拉出

3、轻轻放置好样品

4、缓慢将石英舟推入炉体,用工具将挡门螺丝旋紧,此时注意三个螺丝轮流循环适度

旋紧螺丝。

若不需抽真空进入“工作”步骤,若需抽真空则继续进行以下步骤

5、关闭进气阀、出气阀,打开真空泵,抽真空时间15-20min

6、关闭挡板阀、真空泵

7、依次打开真空计、进气阀和仪器左下角的进气开关

8、打开气瓶阀门缓慢通入氧气,注意观察真空计务必使炉体处于负压状态。通氧5min

后关闭气瓶阀门、进气阀和进气开关

工作

1、打开电源开关

2、设定控温程序:

快速退火炉操作规范

快速退火炉操作规范

快速退火炉操作规范

AM→C1(初始温度1)t1(升温时间1)C2(目标温度2)t2

快速退火炉操作规范

快速退火炉操作规范

(保温时间2)C3(保温结束温度,值与C2相同)t3(降温or继续

快速退火炉操作规范

升温时间)→······→Cn(最终温度500℃)t n=-121,降温部分将最终温度

快速退火炉操作规范

设置为500℃,先后按下(最大

升温速率为50℃/S,最高温度为1050℃)然后按下绿色按键,继电器吸合。再长

按控温面板上的“run”。待面板出现“run”,升温开始。这里的t1-tn、C1-Cn的值

快速退火炉操作规范

快速退火炉操作规范

快速退火炉操作规范

通过调节面板上的按键设定:增大值,:减小值

取样品

炉子工作结束后按下红色按钮,继电器断开。待温度降至300℃以下可以取样品,取样品后同样将炉子关闭。如有需要200℃可打开炉体。

关机

待温度降低至100℃以下关闭开关,关冷水机。

真空计调零


在线客服
联系方式

热线电话

13702970020

上班时间

周一到周五

公司电话

0757-82560052

二维码
线