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快速退火炉操作规范
开机
1、打开冷水机
2、利用工具将炉体挡门螺丝旋下,缓慢平稳地将石英舟拉出
3、轻轻放置好样品
4、缓慢将石英舟推入炉体,用工具将挡门螺丝旋紧,此时注意三个螺丝轮流循环适度
旋紧螺丝。
若不需抽真空进入“工作”步骤,若需抽真空则继续进行以下步骤
5、关闭进气阀、出气阀,打开真空泵,抽真空时间15-20min
6、关闭挡板阀、真空泵
7、依次打开真空计、进气阀和仪器左下角的进气开关
8、打开气瓶阀门缓慢通入氧气,注意观察真空计务必使炉体处于负压状态。通氧5min
后关闭气瓶阀门、进气阀和进气开关
工作
1、打开电源开关
2、设定控温程序:
AM→C1(初始温度1)t1(升温时间1)C2(目标温度2)t2
(保温时间2)C3(保温结束温度,值与C2相同)t3(降温or继续
升温时间)→······→Cn(最终温度500℃)t n=-121,降温部分将最终温度
设置为500℃,先后按下(最大
升温速率为50℃/S,最高温度为1050℃)然后按下绿色按键,继电器吸合。再长
按控温面板上的“run”。待面板出现“run”,升温开始。这里的t1-tn、C1-Cn的值
通过调节面板上的按键设定:增大值,:减小值
取样品
炉子工作结束后按下红色按钮,继电器断开。待温度降至300℃以下可以取样品,取样品后同样将炉子关闭。如有需要200℃可打开炉体。
关机
待温度降低至100℃以下关闭开关,关冷水机。
真空计调零