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anneal快速退火炉,anneal快速退火炉设备说明

作者:admin 浏览量:344 来源:anneal 时间:2021-12-26 21:29:12

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anneal快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。

真空腔室:真空腔室是快速退火炉的工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。
加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。
进气系统:真空腔室尾部有进气孔,精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。
真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。
温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。
气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。
水冷系统:水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。


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