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全自动快速退火炉
一、技术规格
2.1参数
RTP-DTS | |
最大产品尺寸 | 最大处理300×300mm 兼容4寸4片（可兼容4寸9片）或6寸4片 |
机台尺寸 | 2200×2300×2050（宽×深×高） |
Cassette Ports | 4个 |
腔体数量 | 双炉体 |
温度范围 | 室温~1250℃ |
温度测量 | K型热电偶 红外高温计可选 |
最高升温速度 | ≤100℃/s可编程（此温度为不含载盘的升温速度） ≤25℃/s（SiC载盘） |
温度均匀度 | ±5℃≤500℃ ±1%＞500℃ |
温度控制重复性 | ±1℃ |
恒温持续时间 | 可依据要求编程 |
温控方式 | 快速PID温控 |
降温速度 | 约200℃/min（1000~400℃）不可编程 |
腔体设计 | 可配置大气常压腔体或者真空腔体 |
真空泵 | 配备真空系统 |
真空度控制方式 | APC自动压力控制系统，实现恒压控制 |
Robot | 晶圆Robot |
腔体冷却方式 | 水冷腔体，独立水冷源控制冷却 |
工艺气体 | MFC控制，三路气体（可选N2 / O2 / GN2） |
控制方式 | 工业电脑+PC control |
无尘等级 | Class 100 |
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